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| 品牌(pai)Grobenzell | 有效(xiao)期(qi)至長期有效(xiao) | 最后更新2025-06-25 13:56 |
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德國 Grobenzell VSH 高真空步進電機
自 1947 年于德國 Grobenzell 小鎮創立以來，Phytron 始終秉持 “phutron a step ahead” 的創新哲學，在步進電機領域精耕細作超 70 載。作為幕后的技術巨擘，Phytron 專注于攻克極端環境下的驅動難題，產品廣泛應用于工業自動化、醫療、半導體，甚至助力 “好奇號” 火星車在火星探測任務中實現激光束與相機的精準聚焦。憑借對真空兼容性、低溫適應性及驅動控制智能化的系統性突破，Phytron 構建起豐富且性能卓越的產品矩陣，以滿足不同行業的嚴苛需求。
（一）VSH 高真空步進電機?
（一）VSH 高真空步進電機?
- 核心參數：該系列電機真空(kong)(kong)度(du)可達 10?? mbar，能在超高真空(kong)(kong)環(huan)境下穩定運行。例如 VSH 80.200.5 型(xing)號，采(cai)用非磁(ci)性(xing)不(bu)銹鋼(gang)（如 V4A 材質）與(yu)鍍(du)金引線，將材料出(chu)氣率控制在 10?¹² Pa?m³/s 以下，有效避免在超高真空(kong)(kong)下出(chu)現(xian)冷凝與(yu)揮發(fa)問(wen)題。通過焊接密(mi)封與(yu)迷宮式結構設計，其泄漏率較傳統設計降低 99% ，確保(bao)內部(bu)精(jing)密(mi)部(bu)件不(bu)受真空(kong)(kong)環(huan)境影響(xiang)。保(bao)持扭矩范圍根據不(bu)同型(xing)號有所差異，可滿足多種(zhong)負載需求。?
- 應用場景：在(zai)半導體蒸(zheng)鍍設(she)備(bei)中，VSH 高真空步進電機成為 “標準配置”，用于精(jing)(jing)準調(diao)節靶材位(wei)(wei)置，定(ding)位(wei)(wei)精(jing)(jing)度(du)可達 ±1μm，確保蒸(zheng)鍍過程的均(jun)勻性(xing)與穩(wen)定(ding)性(xing)，提高芯(xin)片制(zhi)造的良品率。在(zai)電子束(shu)蒸(zheng)發(fa)設(she)備(bei)中，同樣能發(fa)揮其(qi)高真空適應性(xing)與精(jing)(jing)準定(ding)位(wei)(wei)優勢，助力實現高質量(liang)的薄膜(mo)制(zhi)備(bei) 。?
（二）VSS 低溫(wen)步進(jin)電機?
- 核心參(can)數：可在 - 196°C 至 + 85°C 的寬溫度范圍內穩定工(gong)作，特別針(zhen)對低溫環境研發了專用(yong)鋰基潤滑脂(zhi)與(yu)柔性電纜，保障電機在 - 196°C 液氮環境下啟(qi)動扭矩波動＜5% ，運行平(ping)穩。以 VSS 型號(hao)為例(li)，保(bao)(bao)持扭矩范圍從 3.4 mNm 至 13 Nm（具體依型號(hao)和配(pei)置而定） ，電機直(zhi)徑涵蓋 19 至 125 毫(hao)米(mi)多種(zhong)規(gui)格，適(shi)配(pei)不(bu)同(tong)空間與負載要求(qiu)。搭配(pei) SinCos 編碼器，可實現 ±0.001mm 的(de)重復(fu)定位精度(du)，滿足(zu)超精密運(yun)動(dong)控制需求(qiu)。同(tong)時，該系列電機具備抗(kang)輻射(she)能(neng)(neng)力，輻射(she)強度(du)高(gao)達 10? J/kg ，并能(neng)(neng)承受一(yi)定的(de)沖擊(ji)和振動(dong)載荷，確保(bao)(bao)在復(fu)雜環(huan)境(jing)中的(de)可靠性。?
- 應用場景：在生(sheng)物樣(yang)(yang)本冷凍運(yun)輸環(huan)節，VSS 低(di)溫步(bu)進電機驅動(dong)機械臂完(wan)成超 10 萬次液氮環(huan)境下的精準抓取，且(qie)保(bao)(bao)持零(ling)故障記錄，為(wei)生(sheng)物樣(yang)(yang)本的安全運(yun)輸與存儲提(ti)供可(ke)靠保(bao)(bao)障。在冷凍電鏡的樣(yang)(yang)品(pin)臺驅動(dong)中，其高精度(du)定(ding)位與寬(kuan)溫運(yun)行特性(xing)，能夠確保(bao)(bao)樣(yang)(yang)品(pin)在低(di)溫環(huan)境下穩定(ding)成像(xiang)，助(zhu)力科研(yan)人員獲取高質量的微觀結(jie)構數據 。
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