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德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米

    

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品牌MLase 有效期至長期有(you)效(xiao) 最后更新2024-03-15 14:47
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德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米

 德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米
邱佳(jia)悅
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邱佳悅郵箱:sales3@gzclys.cn電話:010-64717020-117 邱佳悅微信二維碼

MLase是紫外光(guang)(guang)醫療和(he)工業(ye)產品供應商(shang)。自2007成(cheng)立以(yi)來,MLase一直致力于開發和(he)生產創新型高(gao)質(zhi)(zhi)量激(ji)光(guang)(guang)和(he)光(guang)(guang)系(xi)統,這是高(gao)度專業(ye)化的(de)專家團隊多(duo)年經驗的(de)結晶。MLase AG 為客戶提(ti)供優質(zhi)(zhi)的(de)產品,同時考(kao)慮(lv)到(dao)新的(de)技術。MLase AG的(de)質(zhi)(zhi)量管理符合ISO 13485:2016標準。

 

ARF 和 KRF 是(shi)兩種常(chang)見的準分子激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)類型(xing),分別代表(biao)氬(ya)氟化物(wu)激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(ArF 激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi))和氪氟化物(wu)激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)(KrF 激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi))。它們都屬于氣體激光(guang)(guang)器(qi)(qi)(qi)的一種,使(shi)用稀有氣體和氟化物(wu)混(hun)合物(wu)作(zuo)為激光(guang)(guang)介質,并且都通常(chang)在紫外光(guang)(guang)區域產生激光(guang)(guang)。

 

ARF 激光(guang)器(qi)(氬氟化物激光(guang)器(qi)):

   - 波長(chang):約193納(na)米

   - 工作(zuo)介質:氬(ya)氟化(hua)物混合氣體(ti)

&nbsp;  - 應用(yong)(yong)(yong):主要(yao)應用(yong)(yong)(yong)于(yu)半導體光刻技術,用(yong)(yong)(yong)于(yu)制(zhi)造(zao)集成電路芯片。

 

KRF 激光器(氪氟化物激光器):

   - 波(bo)長:約248納米(mi)

   - 工作(zuo)介質:氪氟化物混合氣體

   - 應用:廣泛用于激光(guang)(guang)微(wei)加工(gong)、醫療、科學研究等領(ling)域,也用于半導體光(guang)(guang)刻。

 

這(zhe)兩種類型的(de)激光器(qi)在(zai)波長(chang)和(he)應用(yong)領(ling)域上略有不同,但它(ta)們都具有高能(neng)量密度(du)、精(jing)確(que)的(de)波長(chang)控制和(he)窄脈沖寬度(du)等特點。這(zhe)使它(ta)們在(zai)諸如(ru)微(wei)加(jia)工(gong)、醫學(xue)、科學(xue)研究(jiu)和(he)半導體制造等領(ling)域中得到了廣泛應用(yong)。

 

Mlase MLI 1000 ARF準分子(zi)激光(guang)器

參數:ArF

波長(納米):193

最大。重復率 (Hz):1000

穩定的脈沖能(neng)量(mJ):6

穩(wen)定(ding)的脈沖功(gong)率(lv)(W):6,0

能量(liang)穩定性 (sigma, %):2

光(guang)束尺寸 (FWHM, V x H mm):6x3

光束發散(san)(FWHM,V x H mrad):2x1

脈沖持(chi)續(xu)時(shi)間(FWHM)(ns):5-10

140621781131 (1) 

型號示例:

Mlase準分(fen)子激光器MLI 500 ARF

Mlase準分子激光器MLI 500 KRF

Mlase準分子(zi)激光器MLI 200 KRF

Mlase準分(fen)子激光器MLI 1000 KRF

Mlase準分子(zi)激光器MLI 200 ARF

Mlase準分子激光器MLI 1000 ARF

德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米

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